中國科學院微電子研究所，前身為成立于1958年的原中國科學院109廠。1986年，109廠與中國科學院半導體研究所、計算技術(shù)研究所有關(guān)研制大規(guī)模集成電路部分合并為中國科學院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學院微電子研究所。 [1]

中國科學院微電子研究所是一所專門從事微電子領(lǐng)域研究與開發(fā)的國立研究機構(gòu)，是中國科學院微電子技術(shù)的總體和中國科學院EDA中心的依托單位，主要研究方向為：①集成電路先導工藝與儀器裝備技術(shù)；②集成電路與系統(tǒng)設計技術(shù)；③高性能器件與電路集成技術(shù)；④射頻、微波器件與電路集成技術(shù)；⑤三維集成與系統(tǒng)封裝技術(shù)；⑥新型納米器件與集成技術(shù)；⑦物聯(lián)網(wǎng)與傳感器技術(shù)。 [1-2]

截至2014年底，中國科學院微電子研究所設有12個從事應用技術(shù)研究的研究室和2個從事前沿基礎(chǔ)研究的重點實驗室；共有在職職工1061人，其中科技人員819人、科技支撐人員203人，研究員及正高級工程技術(shù)人員72人、副研究員151人、高級工程技術(shù)人員64人；共有在學研究生293人（其中碩士研究生164人，博士研究生125人，留學生4人），有研究生導師117人（其中博士生導師44人，碩士生導師73人）。